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450度光刻膠固化無(wú)氧干燥箱

產(chǎn)品名稱:450度光刻膠固化無(wú)氧干燥箱

產(chǎn)品型號(hào):FB無(wú)氧干燥箱

產(chǎn)品分類:無(wú)氧化烘箱

備注說(shuō)明:

產(chǎn)品描述:

450度光刻膠固化無(wú)氧烤箱

450度高溫?zé)o氧烤箱采用智能烘箱過(guò)程管理系統(tǒng),由上海和呈儀器制造有限公司自主研發(fā),基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對(duì)接,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化烘烤,過(guò)程管理??刂品奖?、操作簡(jiǎn)單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造,大大提高生產(chǎn)效力!


450度高溫?zé)o氧烤箱主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識(shí)別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無(wú)氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。


450度高溫?zé)o氧烤箱主要技術(shù)指標(biāo)
1、潔凈等級(jí):Class100級(jí)
2、含氧量:<=20PPM
3、使用溫度:RT~400℃,可做溫度:450℃;
4、腔體數(shù)量:2個(gè),上下布置;獨(dú)立控溫
5、爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶
6、空爐升溫時(shí)間:1.5h;
7.空爐降溫時(shí)間:375℃--80℃;降溫時(shí)間1.5-3.5小時(shí) (采用水冷及風(fēng)冷);
8.智能控制系統(tǒng):日本歐姆龍PCL+PC工控電腦

智能控制系統(tǒng)特點(diǎn):
◆ 可接入MES和ERP通訊
◆ 權(quán)限分級(jí)管理,給每個(gè)管理者、工程師、操作員獨(dú)立用戶名和密碼
◆ 智能控制系統(tǒng),歷史數(shù)據(jù)、操作、報(bào)警,事件等等數(shù)據(jù)查詢,記憶操作步驟,操作便捷
◆ PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù),使用 Excel 等常用軟件可以讀取,數(shù)據(jù)記錄間隔5S;
◆ 工廠系統(tǒng),選擇烘烤工藝,啟動(dòng)/停止烘箱;
◆ 工廠系統(tǒng)根據(jù),過(guò)程判斷待烤料件工位,記錄反饋工位信息;
◆ 系統(tǒng)控制開(kāi)/關(guān)門等動(dòng)作;
◆ 系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如:超溫,氮?dú)獠蛔?,含氧量超?biāo)、門未關(guān)到位;
◆ 實(shí)施記錄各種相關(guān)數(shù)據(jù),如,溫度,料件ID,工藝信息

工藝線標(biāo)準(zhǔn)
1、在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃
2、200℃狀態(tài)下恒溫45分鐘
3、再40min升到375℃
4、375℃恒溫1H
5、以每分鐘3-5℃的降溫速率,79min左右從375℃降到75℃




產(chǎn)品參考圖:

上一個(gè):厭氧烘箱