PI烤箱 高溫無塵無氧烘箱
普遍應用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。
主要特點:箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節(jié)能等特點,送風、排風系統(tǒng),確保爐箱溫度均勻,吸風口玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。
一、技術(shù)指標與基本配置:
1、使用溫度:RT~400℃,可做溫度:450℃;
2、腔體數(shù)量:2個,上下布置;獨立控溫
3、爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶
4、空爐升溫時間:1.5h;
5、空爐降溫時間:375℃--80℃;降溫時間1.5-3.5小時 (采用水冷及風冷);
6、智能控制系統(tǒng):日本歐姆龍PCL+PC工控電腦
二、氧含量(配氧分析儀):
1、高溫狀態(tài)氧含量:≤ 10ppm +氣源氧含量;
2、低溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
3、控溫穩(wěn)定度:±1℃;
4、溫度均勻度:±10℃(400℃平臺);
三、事件輸出:
1、配置PLC,可實現(xiàn)多事件輸出控制氣氛、水等開關(guān)和報警;
2、溫度和氧含量記錄:烘箱工藝溫度,6點溫度監(jiān)控數(shù)據(jù)及無氧數(shù)據(jù),烘箱控制系統(tǒng)中顯示,保存,記錄,并生成報表。可查可視。
3、超溫、斷偶等聲光報警保護,產(chǎn)品烘烤批次,數(shù)據(jù),報警,事件等等追蹤可查詢。
4、PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù),使用 Excel 等常用軟件可以讀取,數(shù)據(jù)記錄間隔5S;
5、基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對接,實現(xiàn)自動化烘烤,過程管理
四、工藝線標準
1、在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃
2、200℃狀態(tài)下恒溫45分鐘
3、再40min升到375℃
4、375℃恒溫1H
5、以每分鐘3-5℃的降溫速率,79min左右從375℃降到75℃
產(chǎn)品參考圖: