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無氧烘箱|12寸晶圓烘箱|MES無氧箱

產(chǎn)品名稱:無氧烘箱|12寸晶圓烘箱|MES無氧箱

產(chǎn)品型號(hào):QMO-500

產(chǎn)品分類:無氧化烘箱

備注說明:

產(chǎn)品描述:

無氧烘箱 12寸晶圓烘箱 MES無氧箱

一.概述:

無氧化烘箱,在工作時(shí),工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……

二.產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

1.名稱及型號(hào):無氧烘箱/烤箱/烘烤箱QMO-500

2、主要技術(shù)指標(biāo):

2.1含氧量:< 20ppm,50ppm,100ppm,含氧量:<=5000ppm;

2.2溫度范圍: RT(室溫)+60~ +250℃;

2.3溫度均勻度:±1.5%;

2.4溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)

2.5溫控精度:±0.1℃;

2.6烘箱擱板為活動(dòng)形式。

2.7工作尺寸:W800×H800×D800

2.8電源:380V 3φ 50HZ 8Kw

3、箱體結(jié)構(gòu):

3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;

3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵;

3.3箱體材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;

3.4內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生PARTICLE;

3.5中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3.6保溫材料:硅酸鋁棉;

3.7夾層降溫:水冷降溫.(從250度降到60度預(yù)計(jì)50分鐘內(nèi))

4、可靠的測(cè)控系統(tǒng)

4.1溫控裝置:智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控

10〃TFT真彩觸摸薄屏

程式編輯:可預(yù)編120個(gè)程式,每個(gè)程式可編99段,共1200段

歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)

溫度、含氧量曲線可同時(shí)顯示

4.2溫控輸出:SSR輸出,歐姆龍繼電器,固態(tài)繼電器

4.3含氧量分析儀:配國產(chǎn)含氧量分析儀(上海英盛ZO-802)。         

4.4氮?dú)庀到y(tǒng):N2流量計(jì)控制進(jìn)氣量;入氣口:10mm;排氣口:φ100,位于箱體頂部,排氣可設(shè)定時(shí)間段。

5、完善的安全保護(hù)措施:漏電斷路器//超溫保護(hù)//欠相保護(hù)//馬達(dá)過載電流保護(hù)//機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示

產(chǎn)品參考圖:

下一個(gè):雙工作腔無氧烘箱
上一個(gè):厭氧烘箱