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無(wú)塵潔凈烘箱 HSCOL-2D

產(chǎn)品名稱:無(wú)塵潔凈烘箱 HSCOL-2D

產(chǎn)品型號(hào):HSCOL-2D

產(chǎn)品分類:HSCOL-2D

備注說(shuō)明:無(wú)塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。無(wú)塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

產(chǎn)品描述:

無(wú)塵潔凈烘箱特點(diǎn):本公司HSCOL-2D系列無(wú)塵烘箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到佳溫度控制精度。無(wú)塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。無(wú)塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

無(wú)塵潔凈烘箱詳細(xì)資料:
一.特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 10
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避
免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE; 
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過(guò)濾效率99.99%,Class 10,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)

二.執(zhí)行與滿足標(biāo)準(zhǔn)
1.GB/T11158-1989高溫試驗(yàn)箱技術(shù)條件
2.GB2423.2-1989試驗(yàn)B

三.用途
無(wú)塵工業(yè)烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
無(wú)塵工業(yè)烘箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

四.無(wú)塵烘箱技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號(hào):無(wú)塵烘箱 HSCOL-2D
2.主要技術(shù)指標(biāo):
2.1無(wú)塵等級(jí):Class 10;
2.2溫度范圍: 60~ +300℃;
2.3溫度均勻度:200℃±3℃、300℃±4℃;
2.4溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
2.5溫控精度:±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動(dòng)形式。(兩箱式)
2.7電源:380v , 50Hz,12Kw
3、箱體結(jié)構(gòu):
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵;
3.3箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
3.4內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
3.5中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。
4、溫控系統(tǒng)
4.1采用日本OMRON E5A型溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定,精確度±0.3%FS。;
4.2訊號(hào)來(lái)源:采日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%。
4.3輸出被控制組件:SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出。
5、完善的安全保護(hù)措施:
漏電斷路器、
控制線路保險(xiǎn)絲裝置、
超溫防止保護(hù)裝置、
電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、
馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、
機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示
逆向防止器、
門面安全開關(guān)
6、選購(gòu)設(shè)備:
6.1 可程式溫控器
6.2六點(diǎn)溫度記錄儀
6.3三色指示燈
6.4烘烤架

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